
梅州中頻電源設備廠1、DEF-6B電子槍電源櫃的操作(zuò):1)打開總電源2)同時開電(diàn)子槍控製Ⅰ和電子槍控(kòng)製Ⅱ電源:按電子槍控製Ⅰ電源、延時開關,延時(shí)、電源及保護燈亮(liàng),三分鍾後延時及(jí)保護燈滅,若後門未關好(hǎo)或水流(liú)繼電器有故(gù)障,保護燈(dēng)會(huì)常(cháng)亮。3)開(kāi)高壓(yā),高壓會達(dá)到10KV以上,調節束流(liú)可到200mA左右,簾柵為(wéi)20V/100mA,燈絲電流1.2A,專業中頻電源設備廠偏轉電流在1~1.7之間擺動(dòng)。2、關機順(shùn)序:1)關高真空表頭、關分子泵。2)待分子泵顯示(shì)到50時,依次關高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鍾。3)到50以(yǐ)下時,再關(guān)維持泵。

梅州中頻電源設備廠選用了領(lǐng)先(xiān)的PWM脈寬調製技術,具有傑出(chū)的動態特性和抗(kàng)幹擾才能,動態呼應時刻小於10mS。規劃有電(diàn)壓、電流雙閉環操控電路,可實時對輸出電壓電(diàn)流的操(cāo)控,能有用處理濺射過程中陰極靶麵的(de)不清潔導致弧光放電造成大電流衝擊導(dǎo)致電源的損壞疑問。選(xuǎn)用數字化DSP操控技術,主動(dòng)操控電源的恒壓恒(héng)流狀況。在起弧和維弧時能主動疾速操(cāo)控電壓電流使起弧和維弧作業更安穩。專業(yè)中頻電源設(shè)備廠真空室裏(lǐ)的堆積條件跟著時刻發作改動(dòng)是常(cháng)見的表象。在一輪運轉過中,蒸發源的特性會跟著(zhe)膜材的耗(hào)費而改動,尤(yóu)其(qí)是規劃中觸及多層鍍膜時,假如技術進程需繼續數個小時,真空室(shì)的熱梯(tī)度也(yě)會上升。一起,當(dāng)真空室內壁發作堆積變髒時,不一樣次(cì)序的工效逐步發生區別。這些要素雖然是漸進(jìn)的並可(kě)以進行抵償(cháng),但仍然大概(gài)將其視為體係公役的一部(bù)分。

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