脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍（dù）膜或其他真空物理氣相沉積設備的重要組成（chéng）部分，對於不同的鍍膜（mó）工藝，偏壓電源也分為不（bú）同的類型根據波（bō）形可以分（fèn）為：一、直流偏壓電源二、直流脈衝偏置（zhì）主要（yào）特點1.高頻（pín）單極脈衝對工件（jiàn）施（shī）加偏壓，與直流偏壓相比，由於（yú）電