離子源電源的工作原理主要是基於氣體放電原理。當氣體在離子源的陽極和陰極之間通過（guò）時，其陽極的正電壓與內外陰（yīn）極兩端之間施加（jiā）的強磁場相互作用，產生等離（lí）子體。等離子體中的離子受到陽極（jí）電場的驅動，導致離子源產生（shēng）離子束（shù）射流（liú）。此外，不同類型的離子源，如高