| 無法啟動（dòng） | 1. 主電源未接通或電壓異常 | 1. 檢查供電線路（空氣開關、插座），確認電壓符（fú）合設備（bèi）額定值（zhí）（如（rú） 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷（duàn）器燒毀 | 2. 斷（duàn）電（diàn）後更換同規格保險（xiǎn）管（需確（què）認無短路後再更換，避免再次燒毀） |
| 3. 控（kòng）製信號（如觸發信號、遠程（chéng）控製）未輸入 | 3. 檢查控製線（xiàn）路（lù）（PLC 或手動控製器連（lián）接），確保信號電（diàn）壓 / 電流符合設備要求（如 0-10V 模擬量（liàng）） |
| 4. 電源內部接觸器或繼電器故障 | 4. 聯係廠（chǎng）家維修或更換接觸器（qì） / 繼電器（需專業人員操作） |
| 輸出電壓 / 電流不（bú）穩定 | 1. 輸入電壓波動過大（dà） | 1. 加裝穩壓器穩定供電；檢查（chá）電網是（shì）否有其他大功率設備幹（gàn）擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（liáng）（如電纜接頭鬆動） | 2. 斷電後重新緊（jǐn）固電纜接頭（尤其（qí）是靶材（cái）、電極連接線），清潔（jié）接頭氧化層 |
| 3. 真空（kōng）度不穩定（真空室漏氣或真空泵故障） | 3. 檢（jiǎn）查真空室密封件（jiàn）（O 型圈（quān）），修複漏氣點；維護真空泵（換（huàn）油（yóu）、清理過濾器） |
| 4. 電源內部電壓反饋電路故障 | 4. 由廠家校準反饋電路或更換損壞元件 |
| 過流（liú）保護頻繁觸發（fā） | 1. 靶材與真空室短路（靶材變形、碎屑搭橋） | 1. 停機後檢查靶材，清理碎屑（xiè）；更換變形靶材，確保靶材與腔體絕緣 |
| 2. 真空度不足（zú）（低（dī）於工藝要求） | 2. 延長抽（chōu）真空時間（jiān），檢查真空泵性能；修複（fù）漏氣點，確保真空度≥1×10⁻³Pa（視工藝而定） |
| 3. 電源輸出參數設置（zhì）過高（如電流超限） | 3. 降低輸出電流 / 功率（lǜ）至（zhì）額定範圍，重新設置參數並保存 |
| 4. 過流保（bǎo）護電路誤動作（元件老化） | 4. 更換老化的保護電路元件（如電流傳感器、比較（jiào）器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度偏低或氣體流量不穩定 | 1. 提（tí）高真空度（dù）至工藝標準；檢查氣體流量計（jì）、閥門，確保流量穩定（如氬氣流量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧化、油汙） | 2. 清潔靶材表麵（酒精擦拭），或進行預濺射（低功率轟擊 10-20 分鍾） |
| 3. 電源弧抑（yì）製參數設置不當 | 3. 調整脈衝電源的弧抑製時間（通常 0.1-10μs）和熄弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基底與靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增大基底與靶材間距（通（tōng）常 50-200mm，視鍍膜類型而定） |
| 無輸出功率 | 1. 控製板（bǎn）故障（無觸發信號（hào）輸出） | 1. 檢查控製板指示燈，更換損壞的（de）控製板或修複觸發電路 |
| 2. 功率模塊損（sǔn）壞（如 IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功率模塊導通性，更換同型號模（mó）塊（需專業人員（yuán）操作，避免靜電損壞） |
| 3. 反饋信號中斷（duàn）（如電壓 / 電流傳感（gǎn）器故障） | 3. 檢查傳感器接線，更換故障傳感器 |
| 顯示異常（亂碼 / 無顯（xiǎn）示） | 1. 顯示屏損壞或排線鬆動 | 1. 重新插拔顯示屏排（pái）線；更換（huàn）顯示屏 |
| 2. 主控板程序出錯或供電異常 | 2. 重（chóng）啟電源複位（wèi）程序（xù）；檢查主控（kòng）板供電電壓（通常（cháng） 5V/12V），修複供電電路 |
您的位置：
