| 無法啟動 | 1. 主電源未接通或電壓（yā）異常 | 1. 檢查供電線路（空氣開（kāi）關、插座），確認電壓符合設備額定（dìng）值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷器（qì）燒毀 | 2. 斷電後更換（huàn）同規格保險管（需確認無短路後再更換，避免再次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程控製）未輸入（rù） | 3. 檢查（chá）控製線路（PLC 或手動控製器連接），確保信號電壓 / 電流符合設（shè）備要求（如 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源內部接觸器或繼電器故障 | 4. 聯係廠（chǎng）家維修或更（gèng）換接（jiē）觸器（qì） / 繼電器（需專業人員操作） |
| 輸出電壓 / 電流不穩定 | 1. 輸入電壓波動過大 | 1. 加裝穩壓器穩定供電（diàn）；檢查電（diàn）網是（shì）否（fǒu）有其他大（dà）功（gōng）率（lǜ）設備幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（如電纜接頭鬆動） | 2. 斷（duàn）電後重新緊固電纜接頭（尤其（qí）是靶材、電極連接線），清潔接頭氧（yǎng）化層 |
| 3. 真空度不穩定（真空室漏氣或真空泵故障） | 3. 檢查真空室密封件（O 型圈），修複漏氣點；維護真空泵（bèng）（換油、清理過（guò）濾器） |
| 4. 電源內部電壓（yā）反饋電路故障（zhàng） | 4. 由廠家校準反饋電路（lù）或更換損壞元件 |
| 過流（liú）保護頻繁觸發 | 1. 靶材與真空（kōng）室短路（靶材變形（xíng）、碎屑搭橋） | 1. 停機（jī）後檢查靶材，清理碎屑；更換變形靶材，確保（bǎo）靶材與腔（qiāng）體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於（yú）工藝要求） | 2. 延長（zhǎng）抽真空時間，檢查真空泵性（xìng）能；修（xiū）複漏氣點，確（què）保真空度≥1×10⁻³Pa（視工藝而定） |
| 3. 電（diàn）源（yuán）輸出參數設（shè）置過（guò）高（如電（diàn）流超限） | 3. 降低輸出（chū）電（diàn）流 / 功率至額定範圍，重新設置參數並保存 |
| 4. 過流（liú）保護電路誤動（dòng）作（元件老（lǎo）化） | 4. 更換老化（huà）的保護電路（lù）元件（如電流傳感器、比較器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度偏低或氣體流量不穩定 | 1. 提高真空度至工藝標準；檢查氣體流量計、閥門，確保流量穩定（如（rú）氬氣流（liú）量 50-200sccm） |
| 2. 靶材表（biǎo）麵汙染（氧化、油汙（wū）） | 2. 清潔靶（bǎ）材表麵（酒精擦拭），或進行預濺射（低功率轟擊（jī） 10-20 分（fèn）鍾） |
| 3. 電源弧抑製參數設置（zhì）不當 | 3. 調整脈衝電源的弧抑製時間（通常（cháng） 0.1-10μs）和熄弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基底（dǐ）與靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增大基底與靶材間距（通常 50-200mm，視鍍膜（mó）類型而定） |
| 無輸出功率 | 1. 控製板故障（無觸發（fā）信號輸出） | 1. 檢查控（kòng）製板（bǎn）指示燈，更換損（sǔn）壞的控製板或修（xiū）複觸發電路 |
| 2. 功率模塊損壞（如 IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功率模塊導通性，更換同型號（hào）模塊（需專業人員操作，避免靜電損壞） |
| 3. 反饋信號中斷（如電壓（yā） / 電流傳感器故障） | 3. 檢查（chá）傳感器接線，更（gèng）換故障傳（chuán）感器 |
| 顯示異常（亂碼 / 無顯（xiǎn）示） | 1. 顯示屏損壞或排線鬆動 | 1. 重新插（chā）拔顯示屏排線；更（gèng）換顯示屏 |
| 2. 主控板程序出錯或供電異常 | 2. 重啟電源（yuán）複（fù）位程序；檢查主控板供電電壓（通常 5V/12V），修複供電電路 |
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