射頻、直流和脈衝直流電源選擇:客戶可根據自身工藝特點選擇不同類型的等離(lí)子電源。Advanced Energy 提供射(shè)頻、直流和脈衝直(zhí)流等多種類型(xíng)的等離子電(diàn)源(yuán)產品,其脈衝和直流電源係統可在極端電弧條件下提供穩定的功率輸送,適用於高度可重複的薄膜沉(chén)積工(gōng)藝。
阻抗匹配網(wǎng)絡定製:等離子電源的阻抗匹配網(wǎng)絡可以根據電源和負載的特性進行定製(zhì),以確(què)保從電源至等離子體的最(zuì)佳穩定功率傳輸。通快霍(huò)廷格的 TruPlasma Match 1000 (G2/13) 係列阻抗匹配器可作為電源與工藝流程間的鏈節,與電源(yuán)準確協(xié)調,實現最佳的阻抗(kàng)適配。
集成係統定製:將等(děng)離子電源與其他相關設備集成在一起,形成定製化的解決方案。Advanced Energy 的集成(chéng)係統將各種產品組合在一起,為不同行(háng)業的等離子體工藝提供了定製化的(de)整(zhěng)體解決方(fāng)案,確保工藝質量的一致性和提高生產效(xiào)率。