主要型號:
型號 | 功率 (kW) | 最大工作(zuò) 電流(A) | 外(wài)形 尺寸 | 冷卻 方式 | 空載電壓 (V) | 工作電壓 (V) |
MSDP-10k | 10 | 12.5 | 1單元(yuán) | 風冷 | 1000 | 200~800V |
MSDP-20k | 20 | 25 | 1單元 | |||
MSDP-30k | 30 | 37.5 | 2單元(yuán) | |||
MSDP-40k | 40 | 50 | 2單(dān)元 |
主要特點:
A 明顯改(gǎi)善靶麵電荷積累現象,減小濺(jiàn)射表麵(miàn)的打火次數,提高膜層質量。
B 具有平均電源穩定功(gōng)能,具有理(lǐ)想(xiǎng)的電壓陡降特性,
充分滿足磁控濺射工藝過程的連(lián)續性(xìng)。
C 空載電壓≥1000V,工作電壓200~800V。
D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
E 可(kě)選擇手動控製/模擬量接口控製,可選配RS485通(tōng)訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製技術(shù),使用(yòng)進口IGBT或MOSFET作(zuò)為功率開關器件(jiàn),
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產(chǎn)工藝嚴格完善(shàn)。
該(gāi)係列產品采用先進的DSP控(kòng)製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性(xìng),
並且具有抑製(zhì)靶材弧光放電及抗短路功能,
具有(yǒu)極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗工藝的穩定性,又提高(gāo)了靶(bǎ)麵清洗速度;
主要參(cān)數(shù)均可大範圍連續調(diào)節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控製。
主要用途:
單極(jí)脈衝磁控濺射適用於(yú)金屬、合金及(jí)石墨等靶材鍍製金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
鏡片(piàn)在(zài)接受鍍膜前必須進行預清洗(xǐ),這種清洗要求(qiú)很高,達到分(fèn)子(zǐ)級。在清洗槽中分別放置各種清洗液(yè),並采用超聲波加強清洗效(xiào)果,當鏡片清洗完後,放進真空艙內,在(zài)此過程中要特別注(zhù)意避免空氣中的灰塵和垃圾再黏附在鏡(jìng)片表麵。最後的清洗(xǐ)是在真空艙內,在此(cǐ)過程中要特(tè)別注意避免空氣中的(de)灰塵和垃圾再黏附在鏡片表麵。最後的清洗(xǐ)是在真(zhēn)空艙內鍍前進行的,放置在真空艙內的離子(zǐ)槍將轟擊鏡片的表麵(例如用(yòng)氬離子),完成此道清洗(xǐ)工(gōng)序後(hòu)即進行(háng)減反射膜的鍍膜。
真空鍍膜電源為什麽在現在會(huì)應用那麽多呢,有哪(nǎ)些明顯的效果?
概念的區別:
1、真空鍍(dù)膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或(huò)絕緣體(tǐ))表麵而形成薄膜的一種(zhǒng)方法。例如,真(zhēn)空鍍鋁、真空(kōng)鍍鉻等。
2、光(guāng)學鍍膜是指在光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄膜的工藝過程。在光學零件表麵鍍膜的目的是為了達到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要(yào)求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。
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