脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其他（tā）真空物（wù）理氣相沉積設（shè）備的重要組成部（bù）分，對（duì）於不（bú）同的鍍膜工藝（yì），偏壓電源也分為不同的類型根據波形（xíng）可以分為：一、直流偏壓電源二、直流脈（mò）衝偏置主要特點1.高頻（pín）單極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電