離子源電源的工作原理主要是基於氣體放電原（yuán）理（lǐ）。當氣體在（zài）離子源的陽極和陰極之間通過時，其（qí）陽極的正電壓與內外陰極兩端之間施加的強磁場相互作用，產（chǎn）生等離子體。等離子（zǐ）體中的離子受到陽極電場的（de）驅動，導致（zhì）離子源產生離子束（shù）射流。此外，不同類型的離子源，如高