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1、真空鍍膜電源（yuán）每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是（shì）：用燒堿（NaOH）飽和溶液反複擦洗真空（kōng）室內壁，（ 注意人體皮膚不（bú）可以直接接（jiē）觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發（fā）生（shēng）反應，反（fǎn）應後膜層脫落，並釋放出氫（qīng）氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續工作一個月（雨季（jì）減半），需更換新油。方（fāng）法是（shì）：擰開放油螺（luó）栓，放掉舊油，再將泵啟（qǐ）動數秒，使泵內（nèi）的舊油完全排放（fàng）出來。擰回放油螺栓，加入新油至額（é）定量（油視鏡（jìng）觀察）。連續（xù）使用半年以上，換油時應將油蓋（gài）打開，用布擦幹淨箱（xiāng）內（nèi）汙垢。
3、擴（kuò）散泵連續使用（yòng）6個月以上，抽速（sù）明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去（qù）聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴（zuǐ）擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗（xǐ）衣粉兌水（shuǐ）清洗一遍，然後用清水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝好泵膽，加入新擴散（sàn）泵油，並裝回機體，接好水管（guǎn），裝好電爐（lú）盤，便可（kě）以重（chóng）新開（kāi）機。在重新開機前，要（yào）注意檢漏工作。方法是：啟動維持（chí）泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分真空（kōng）度是否達到6X10帕，否則要進行（háng）檢漏（lòu）。檢查聯（lián）接處是否（fǒu）裝密封（fēng）膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱（rè），否則擴散泵油會燒環無法進入工作狀態。
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