偏壓電源（yuán）類型

脈衝偏壓電（diàn）源是（shì）真空電弧離子（zǐ）鍍和磁控濺射鍍（dù）膜或其他真空物理氣相沉積（jī）設備的重要組成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏壓電源也（yě）分為不同的（de）類型

根據波形可（kě）以分為：

一、直流偏壓電源

二、直流脈衝偏置

主要特點（diǎn）

1.高頻單（dān）極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電壓中斷間隙的存在，可以有效減少點火次數，保護工件（jiàn）表麵。

2.在脈衝間隙期間，可以中和工件（jiàn）表麵積（jī）聚的電荷，從而減少表麵電荷（hé）積聚引起的點火。

3.高頻逆變器技術的快（kuài）速關斷能力可以有效地減少每個火花釋放的能量，即（jí）使在火花出現時，也（yě）可以顯著降低（dī）工件表麵（miàn）的大損傷程度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工件表麵的離子能量非常低。

5.可以通過調節頻率和（hé）占空（kōng）比來提高和控製成膜速度和（hé）質量（liàng）。

三（sān）、直流（liú）疊加脈衝偏置

主要特點

1.具有（yǒu）單極脈（mò）衝偏置電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加（jiā）脈衝模式下（xià），消除（chú）了單（dān）極脈衝間隙之間離子能量低的問題。

四（sì）、雙極脈衝（chōng）偏置

主要特點

1.負脈衝的作用與單（dān）極脈衝偏置電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等離（lí）子體中的電子，以中和工件表麵正電荷的積累。因為電子（zǐ）的（de）質量比離子的質（zhì）量小得多，加速很容易，所以正脈衝的振幅比負脈衝的振幅小得多——通常為10~100V，正負脈衝的電流積分應該相等。因此，正電源的功率遠小於負電源（yuán）的功率。

2.當正電源電壓為零時，雙極脈衝偏壓變為單極脈衝偏壓。