偏壓電源類型（xíng）

脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其（qí）他真空物理氣相沉積設備的重要組成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同的類（lèi）型

根據波形可以分為（wéi）：

一、直（zhí）流偏壓電源

二、直流脈衝偏置

主要特點（diǎn）

1.高頻單極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電壓中斷間隙（xì）的存在（zài），可以有效減少點火次數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，可以中和工件表麵積聚的電（diàn）荷，從而減少表麵（miàn）電（diàn）荷積聚引起的點火。

3.高頻逆變器技術的快速關斷能力可以有效地（dì）減少每個火花釋放的能（néng）量，即使在火花出現時，也可以顯著降低工件表麵的大損傷程（chéng）度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工件表麵的（de）離子能量非常低。

5.可以通過調節頻率和占空比來提高和控製成膜速度和質量。

三、直流疊加脈衝偏置

主要特（tè）點

1.具有單極脈衝偏置電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下，消除了單極脈（mò）衝間隙之（zhī）間離子能（néng）量低的問題。

四、雙極脈衝偏（piān）置

主要特（tè）點

1.負脈衝的（de）作用與單極脈衝偏置電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等離子體中的（de）電子，以中和工件表麵正電荷（hé）的積累。因為電子的質量（liàng）比離子的質量小得多（duō），加（jiā）速很容易，所以正脈衝的振幅比負脈衝的振幅小得多——通常為10~100V，正負脈衝（chōng）的（de）電流積（jī）分應該相等。因此，正電源的功率遠小於負電源的功率。

2.當正電源電壓為零時，雙極（jí）脈衝偏壓變為單極脈衝偏壓。