偏壓電（diàn）源類型

脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁（cí）控（kòng）濺射鍍膜或其（qí）他真空物（wù）理氣相（xiàng）沉積設備的重要組成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同（tóng）的類型

根據波形可以分為：

一、直流偏壓（yā）電源

二、直流脈衝偏置

主要特點

1.高頻（pín）單極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電壓中斷間隙的（de）存在，可（kě）以有效減少點火次數（shù），保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期（qī）間，可以中和工件表麵積聚的電荷，從而減少（shǎo）表（biǎo）麵電荷（hé）積聚引起的點（diǎn）火。

3.高頻逆變器技術的快速關斷能力可以（yǐ）有效地減少每個火花釋放的能量，即（jí）使在火（huǒ）花出現時，也可（kě）以顯著降（jiàng）低工（gōng）件表麵的大損傷程度（dù）。

4.在脈衝（chōng）間隙期間沉積到工件表麵的離子能量非常低。

5.可以通過調節（jiē）頻率和占空比來提高和控製成膜速度和質量。

三、直流疊加脈衝偏置

主要特點

1.具有單極脈衝偏（piān）置電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加（jiā）脈（mò）衝模式下（xià），消除了單極（jí）脈（mò）衝間隙（xì）之間離子能量低的問題。

四、雙極脈衝偏置（zhì）

主要特點

1.負脈衝的作用與單極脈衝偏置電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等（děng）離子體中（zhōng）的電（diàn）子，以中和（hé）工件表麵正電荷的積累。因（yīn）為（wéi）電子的質量比離子（zǐ）的質量小得多，加速很容易，所（suǒ）以正脈衝的振幅比負脈衝的振幅小得多——通常為（wéi）10~100V，正負脈衝的電流積分應該相等。因此，正電（diàn）源的功率遠小（xiǎo）於負電源（yuán）的功率。

2.當正電源電壓為（wéi）零時，雙極脈衝（chōng）偏壓變為單極脈衝偏壓。