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北京MSB中(zhōng)頻磁控濺射真空鍍膜(mó)電源

北京MSB中頻磁控濺射真空鍍膜電源

  • 所屬分類:北(běi)京MSB係(xì)列中頻電源
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-10-21 09:42:08
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術(shù)參(cān)數

主要型號:

型號

功率(lǜ)(kW)

最大工作電流(A)

外形尺寸

冷卻方式

空載電壓(V)

工作電壓(V)

MSB-10k

10

12.5

1單元



風冷(lěng)



1000



150~800V

MSB-20k

20

25

1單元

MSB-30k

30

37.5

2單元

MSB-40k

40

50

2單(dān)元

MSB-20k

20

25

1單元




風水(shuǐ)冷




1000




150~800V

MSB-30k

30

37.5

1單元

MSB-40k

40

50

1單元

MSB-60k

60

75

2單元

MSB-80k

80

100

2單元

MSB-100k

100

125

3單元

MSB-120k

120

150

3單元

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主要特點:


   A 采用先進(jìn)的電流型開(kāi)關(guān)電源技術,減(jiǎn)小輸出(chū)儲能元件,
同時提高了抑製(zhì)打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒(héng)功率模式相對於傳統的恒流模式,
更能保證鍍膜工藝的重複性。
   C 具有(yǒu)理想的電壓陡降特性,自(zì)動識別偽打火現象,
充分滿足磁控濺射工藝過程的(de)連續性。
   D 主要參數可大(dà)範圍調節(jiē)
   E 可選擇手動控製/模擬量接口控製,可選配(pèi)RS485通(tōng)訊接口。
采用先進的PWM脈寬調製(zhì)技術(shù),使用(yòng)進口IGBT或(huò)MOSFET作(zuò)為功率開關器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工(gōng)藝嚴格完善(shàn)。
該(gāi)係列產品(pǐn)采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材(cái)弧光放(fàng)電及抗短路功能,
具有(yǒu)極佳的負載匹(pǐ)配能力,既保證了(le)靶麵清洗工藝的穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主(zhǔ)要參數均可大(dà)範圍連續調節(jiē);
方便維護,可靠性(xìng)高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便(biàn)實現自動化控製。



MSB係列雙極脈衝磁(cí)控濺射電源(中頻電源)

主要用途:

雙極脈衝磁控濺射電源用於中頻孿生靶磁控濺金屬或非金屬材料(liào),特別適合(hé)於反應磁控濺射。能增加離化率,減少電荷(hé)積(jī)累引起的異常放電,預防靶表麵中毒現象。




離子源電源


真空鍍膜(mó)電源設備


真空鍍膜電源設備


真空鍍膜電源設備


真(zhēn)空鍍膜電源設備


真空鍍膜電源時,使(shǐ)用直流負偏壓電源,其中運用直流(liú)電源,這個電源(yuán)的(de)電子方向一直統一,會導致單一品種電荷堆積過(guò)高與控製源中和。也就是(shì)說用來提供動力的正負極被中和了。然後磁控濺(jiàn)射將不再持續。所以選用脈(mò)衝電(diàn)源(yuán)。


在真空中(zhōng)製備膜層(céng),包含鍍製晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化(huà)學汽相堆積也選用減壓、低壓或等離子體等真空手法,但一般真空鍍膜是指用物理的辦法(fǎ)堆積(jī)薄膜。真空鍍膜有三(sān)種方(fāng)式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。


真空鍍膜技能初現於20世紀30年(nián)代,四五十(shí)年代開(kāi)端呈現(xiàn)工業使用,工業化大(dà)規(guī)模出產開(kāi)端於20世紀80年代,在電子(zǐ)、宇航、包裝、裝潢、燙金印刷等工業中獲得廣泛的使用。真空鍍膜是指在真空環境(jìng)下(xià),將某種金屬或金屬化合物以(yǐ)氣相的方式堆(duī)積(jī)到資料(liào)外表(biǎo)(通常是非金屬資料),歸於(yú)物理氣相堆積工藝。由於鍍層常(cháng)為金屬薄膜,故也稱真空金屬化。廣義的真空鍍膜還包含(hán)在(zài)金屬或非金(jīn)屬資料外表(biǎo)真空蒸鍍聚合物等非金屬功用性薄膜。在所有(yǒu)被鍍資猜中,以塑料樶為常見,其次(cì),為紙張鍍膜(mó)。相對於(yú)金屬、陶(táo)瓷(cí)、木材等資料,塑(sù)料具有來曆充足、性能易於調控、加工方便等優勢,因此品種繁多的塑料或其他高分子資料作為工(gōng)程(chéng)裝修性結構資料,大量使(shǐ)用於轎車、家電、日用包裝、工(gōng)藝裝修(xiū)等工業領域。但塑料資料大多存(cún)在外表硬度不高、外觀不行華麗、耐磨性低等缺點,如在塑料外表蒸鍍一層(céng)極薄的金屬薄膜,即可賦予塑(sù)料程亮的金屬外觀(guān),合適的(de)金屬源還可大大(dà)增加資料(liào)外表耐磨性能,大大拓(tuò)寬了塑料的裝修性和使用範(fàn)圍。


真空鍍膜的功用是多方麵(miàn)的,這也決議了其(qí)使用場合(hé)非常豐富。整體來說,真空(kōng)鍍膜的主要功用包含賦予被鍍件外(wài)表高度金屬光(guāng)澤和鏡麵效果,在薄膜資料上使膜層具有超(chāo)卓的隔絕性能,提供優(yōu)異的電磁屏蔽和導電效果。


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