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江蘇MSDP單極脈衝磁控濺(jiàn)射電源

江蘇MSDP單極脈衝磁控濺射電源(yuán)

  • 所(suǒ)屬(shǔ)分類:江蘇MSDP單極脈衝磁控濺射電源
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-10-21 09:43:33
  • 產品概(gài)述
  • 性能(néng)特點
  • 技術參數(shù)

主要型號:

型號

功率

(kW)

最大工作

電流(A)

外形

尺寸

冷卻

方(fāng)式

空載電壓(yā)

(V)

工作電壓

(V)

MSDP-10k

10

12.5

1單元



風(fēng)冷



1000



200~800V

MSDP-20k

20

25

1單元

MSDP-30k

30

37.5

2單元

MSDP-40k

40

50

2單元


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主(zhǔ)要特點:
   A 明顯改善靶麵(miàn)電荷(hé)積累現象,減小濺射表麵的打火次數,提高膜層質量。
   B 具有平(píng)均電源穩定功能,具有理(lǐ)想的(de)電(diàn)壓陡降(jiàng)特性,
充分滿足(zú)磁控濺射(shè)工藝過程的連續性。
   C 空載電壓(yā)≥1000V,工作電壓200~800V。
   D 頻率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可選擇手動控製(zhì)/模擬量接(jiē)口控(kòng)製,可選配RS485通訊接口(kǒu)。
采用先進的PWM脈(mò)寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關(guān)器件,
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠,生產工(gōng)藝嚴格(gé)完善。
該係列產(chǎn)品采用先進的DSP控製係(xì)統,充分保證(zhèng)鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放電及(jí)抗短路功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵(miàn)清(qīng)洗工藝的(de)穩定性,又提高了靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續(xù)調節;
方便維護,可(kě)靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控製。


主要用途:

單極脈(mò)衝磁控濺射適用於金屬、合金及石墨等靶材鍍製(zhì)金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮(dàn)化物及(jí)碳化物膜。


鏡片在(zài)接受鍍膜前必須進行預清(qīng)洗,這種清洗要求很(hěn)高,達(dá)到分子級。在清洗槽中分別放置各種清洗液,並采用超(chāo)聲波加(jiā)強清洗效果,當鏡片清洗完後,放進真(zhēn)空艙內,在此過程中要特別注意避免空氣中的(de)灰塵和垃圾再(zài)黏附在鏡片表麵。最後的(de)清洗(xǐ)是在真空艙內,在(zài)此過程中要(yào)特別注意避免空氣中(zhōng)的灰(huī)塵(chén)和垃圾(jī)再黏附(fù)在鏡片表麵。最後的清洗是在真空艙內鍍前進行的,放置在真空艙內的(de)離(lí)子槍(qiāng)將轟(hōng)擊鏡片的表麵(例如用氬離子),完(wán)成此道清洗工序後(hòu)即進行減反射(shè)膜的鍍(dù)膜。

真空鍍膜電源為什麽在現在會應用(yòng)那麽多呢,有哪些明顯的效果?

真(zhēn)空鍍膜電源

概念的區別:

1、真空鍍膜是(shì)指在高真空的條件下加熱金屬或非金(jīn)屬材料,使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表麵而形成薄膜的(de)一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。


2、光學鍍膜是(shì)指在(zài)光學零件表麵上鍍上一層(或多層)金屬(或介質)薄(báo)膜的(de)工(gōng)藝過程。在光學零件表麵鍍膜的目的是為(wéi)了達到減少或增加光的反射(shè)、分束(shù)、分色、濾(lǜ)光、偏振等要(yào)求。常用的鍍(dù)膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一(yī)種)和化學(xué)鍍膜。


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