脈衝磁控濺射是一種用矩形波電壓脈衝電源代替傳統（tǒng）直流電源（yuán）的方法。脈衝濺射可以有效抑製電弧的產生，消除由此產生的薄膜缺陷，同時可以提高濺射的沉積（jī）速率，降低沉積溫度等一係列顯著優點，是濺射絕緣材料沉積的工藝。脈衝（chōng）磁控濺（jiàn）射的工作原理一個周期有正電壓

說起單極脈衝磁控濺射（shè）電源，可能有點困惑，但我想（xiǎng）說的是，它（tā）是對直流磁控濺（jiàn）射電源的升級，是不是突然明白了？脈衝磁控濺射是用矩形（xíng）波電壓脈衝電源代替（tì）傳統直（zhí）流電源的一種方法（fǎ）。脈衝濺射可以有（yǒu）效地抑製電弧的產生，消除由此產生的薄膜（mó）缺陷（xiàn），同時可以提高濺射的