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真空鍍膜電源
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關於(yú)真空離(lí)子鍍膜的作用

2020-07-25 00:00:00

真空鍍膜電源廠家的在真空離子鍍膜中,尤其對於多弧離子鍍膜,無論是裝飾鍍還是(shì)工具鍍,轟偏電源的好壞(huài)對於成膜質量都起著非(fēi)常關鍵的作用。裝飾(shì)鍍和工具鍍對膜層質量的要求有相同之處又各有側重。

離子源電源

離子鍍是(shì)真空室中,利用氣體放(fàng)電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積(jī)在基片上。離子鍍把(bǎ) 輝光放電現象、 等(děng)離子體技(jì)術和真空蒸發三者有機結(jié)合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且(qiě)還擴大了薄膜的(de)應用範圍。多弧電源(yuán)其優點是薄膜 附著力強,繞射性(xìng)好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離(lí)子鍍原理,起工作過程是(shì):


先將真(zhēn)空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高壓電源,在蒸發源與基片之間建立一(yī)個低壓氣體放電的 低溫等離子區。基片電極接上5KV直流負高壓,從而(ér)形成光放電陰(yīn)極(jí)。輝光放電去產(chǎn)生的惰性氣體離(lí)子進入陰極(jí)暗區被電場加速並轟擊基片表麵,對(duì)其進行清洗。然後計入鍍膜過程(chéng),加熱使(shǐ)鍍料氣化,起原子進入等離子區,與惰性氣體(tǐ)離子及電子發生碰撞,少部分(fèn)產生離(lí)化。離化後的例子及氣體離子以較高能量轟擊(jī)鍍層表麵,致使膜層質量得到改善。


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