北京MSD係列小（xiǎo）功率直流磁控濺射電源

主要型（xíng）號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技（jì）術，減小輸出（chū）儲能元件，
同時提高了抑製（zhì）打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可（kě）選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保證（zhèng）鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的（de）電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充（chōng）分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控製（zhì）/模擬（nǐ）量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專（zhuān）門為試驗型真空設備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電（diàn）源，
為客戶減小電源體積（jī）和降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技術（shù），使用進口（kǒu）IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采（cǎi）用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的（de）重複性（xìng），
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路（lù）功能，
具有極佳的負（fù）載匹配能力，既保證了靶麵清洗工（gōng）藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均（jun1）可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁（cí）控濺射（shè）用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及（jí）排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比（bǐ）較複雜，下麵就（jiù）幾種典型（xíng）的故障進行分析（xī）。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管（guǎn）處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高（gāo）壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信（xìn）號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常（cháng）的情況下，增加束流（liú）時，由（yóu）於束斑的位置不在中心（xīn），電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑（bān）的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會（huì）出現高（gāo）壓無指示。這是由於（yú）高壓輸出被近似短路，造成電子束流大於預定的值，主開關（guān）管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高（gāo）壓無（wú）法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流（liú）信號，使得穩（wěn）壓管被擊穿導通，管壓（yā）處（chù）於（yú）導通狀態，這時高壓就沒有指示了（le）。

2、無束流時，高壓指（zhǐ）示不穩定（dìng）

在正常（cháng）的（de）情況下，即使有束流（liú）高壓（yā）指示也（yě）應該是穩定的，無束流時高壓指示（shì）不穩定，高壓表指（zhǐ）針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現（xiàn）這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分（fèn）開，如果（guǒ）問題還在，就（jiù）證（zhèng）明問題不在負（fù）載那方麵，而是在高壓電源那（nà）方麵，高壓電源是由高壓部（bù）分和自動電源（yuán）的主開關管進行切（qiē）斷的。當有束流時，高壓指（zhǐ）示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打（dǎ）火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始（shǐ）終處在（zài）切（qiē）斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因（yīn）為設備使用了很（hěn）多年，鍾罩內（nèi）壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況（kuàng）下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的（de）假束流，使得主開關管不停（tíng）的導（dǎo）通和截（jié）止，高（gāo）壓指示就不穩（wěn）定了。消除這種故障，可先將電（diàn）子（zǐ）槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗（xǐ），如味故障還沒（méi）有補消除，再（zài）將鍾罩內所有的器（qì）件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指（zhǐ）示就不會在（zài）頻繁的（de）擺（bǎi）動了。