北京MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減（jiǎn）小輸（shū）出（chū）儲能元件（jiàn），
同時提高了抑製打（dǎ）火及重啟速（sù）度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功（gōng）率模式（shì）可選。恒功率模式相對於傳統的恒流（liú）模式，
更能保證鍍膜工藝的重（chóng）複性。
  C 具有理想的電壓陡降（jiàng）特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足（zú）磁控濺射（shè）工藝過程的連續性（xìng）。
  D 可選擇（zé）手（shǒu）動控製/模擬（nǐ）量接口（kǒu）控製，可選配RS485通訊接口（kǒu）。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生（shēng）產型設備的直流（liú）磁控濺射電源，
為客戶減（jiǎn）小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調（diào）製技術，使用進口IGBT或MOSFET作（zuò）為功（gōng）率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工（gōng）藝嚴格完（wán）善。
該係列產品采用先（xiān）進的DSP控（kòng）製係（xì）統，充分保（bǎo）證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提（tí）高了（le）靶（bǎ）麵清洗速度；
主要參數均可大（dà）範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展功能，方便實現自動化（huà）控製。

主（zhǔ）要用途：

直流（liú）磁控（kòng）濺射（shè）用於鍍製各（gè）種金（jīn）屬。

真空鍍膜電源的（de）故障現象分（fèn）析及排（pái）除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源（yuán）部分的故障較（jiào）多，也比較複雜，下麵就幾種典型的（de）故障進行分析。

1、增加電子束（shù）流時，高壓（yā）沒有指示

真空鍍膜（mó）機在正常工作的時候，設備的主開關電路（lù）中的開關管處於飽和的導（dǎo）通狀態（tài），當管壓下（xià）降保持（chí）在100V左右的時候，柵極得到正偏（piān）壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電（diàn）路上得到的電壓控製信號不足（zú）以使穩壓管擊穿導（dǎo）通。在不正常的情況下（xià），增加（jiā）束流（liú）時，由於束斑的位置（zhì）不在中心，電子束可（kě）能會打到坩堝的（de）邊（biān）緣，或者束斑的位置在中心，但蒸（zhēng）鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示（shì）。這是由於高壓（yā）輸出被近似短路，造成電子束流大於預（yù）定的（de）值，主（zhǔ）開（kāi）關管處於（yú）截止狀態，承（chéng）受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時（shí），高壓指示不穩（wěn）定（dìng）

在正（zhèng）常的情況下，即使有（yǒu）束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會（huì）來回的擺動，這就是不正常情況（kuàng）。從原理上分析，高壓電源和負載有問題（tí）都會出現這種現象（xiàng）。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不（bú）在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源（yuán）的主開關管進行（háng）切斷的。當（dāng）有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源（yuán）的主開關管始終處在切斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在（zài）實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設備使用了很多（duō）年，鍾罩內壁（bì）上聚（jù）集了許多蒸鍍的材料（liào）。在（zài）有束流的情（qíng）況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流（liú），使得主開關管（guǎn）不停的（de）導通和截止，高（gāo）壓指示（shì）就不穩定了。消除（chú）這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地（dì）清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩內（nèi）所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的（de）清洗，故障就會（huì）被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。