脈衝偏壓電（diàn）源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其他真空物（wù）理氣相沉積（jī）設備的重要組成部分，對於不同（tóng）的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同（tóng）的類型（xíng）根據波形可以分為：一、直流偏壓電源二、直（zhí）流脈衝偏（piān）置主（zhǔ）要特（tè）點1.高頻單極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓（yā）相比，由於電（diàn）