真空鍍膜是一種通過物理方法生產薄(báo)膜材料的技術。在真空室中,材料的原子從(cóng)加熱(rè)源中分離出來,撞擊(jī)在被鍍物體(tǐ)的表麵上。真空鍍膜機在正常工作情況下,通電(diàn)時必須先打開水管,工作中要隨時注意水壓。
真空鍍膜電源在離(lí)子轟(hōng)擊蒸發過(guò)程中,要特別注意高壓線接頭,不要觸碰,以防(fáng)觸電。用電子槍鍍膜時,應在鍾罩(zhào)外圍放一塊鋁(lǚ)板。觀察窗(chuāng)的玻璃好是鉛玻(bō)璃,觀察時應佩戴鉛(qiān)玻璃眼鏡,防(fáng)止X射線對人體造成傷害。
在鍍多層介質膜的鍍層室(shì)內,應安裝通風除塵裝置,及時清(qīng)除有害粉塵。易燃、有毒物品應妥善保管,防(fáng)止火災中毒。酸洗夾具應在通風設備中進行,並應戴上橡膠手套。將零件放入酸洗或堿洗槽時,應輕拿(ná)輕放,不(bú)得碰撞(zhuàng)、濺水。通常酸洗槽應加(jiā)蓋。
真空鍍膜有蒸發鍍膜(mó)、濺射鍍(dù)膜(mó)和離子鍍三種形式:當濺射鍍膜用(yòng)高能粒子轟擊固體表麵時,可以獲得固體表麵的粒子。能量從表麵逸出並沉積在基板上;離子鍍蒸(zhēng)發(fā)物質的分(fèn)子通過電子撞擊被電(diàn)離,並以離子的形式沉積在固(gù)體表麵。所有三種形式的真空鍍膜技術都需要快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜(mó)過程。
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