真空鍍膜（mó）機技術中（zhōng）幾種電源的介紹

真空鍍膜機的鍍（dù）膜工藝，應適用於電源，鍍基材不同，工藝不一樣，設（shè）備配置不一（yī）樣，電源的使用也不一（yī）樣，下麵為大家介紹幾種常見的電源：

電弧電源

電弧離子（zǐ）鍍膜中靶材的蒸發（fā）和電離須依靠電弧電源提供能量。在實際的鍍膜過程中，電源應能自動檢測（cè）到滅弧現（xiàn）象並自動啟動電弧，以確保鍍膜過程的（de）連續性和均勻性。此外，電弧電源的（de）電弧穩定性能，特別是小電弧穩定（dìng）電流，對（duì）薄膜的一致性、效率和光潔度有很大影響。一台多（duō）弧離子鍍膜機配備了幾個電弧電源（yuán），十幾個，甚（shèn）至幾十套。穩定可靠（kào）的運行（háng）對整個設備（bèi）的性能至關重要。電弧電源從（cóng）傳統的電源，通過使用（yòng）晶閘管技術（shù），發展到目前的高頻逆變器。與傳統電磁晶閘管技術製成的電弧電源相比，高頻逆（nì）變電弧電（diàn）源具有以下特點：

1.體積減小，僅為舊電源的（de）一小部分；相應電源的（de）重量（liàng）僅為傳統電源的十分（fèn）之一到十分之（zhī）一。

2.電源效率明顯提高（gāo），比舊電源效率提（tí）高約（yuē）20%-30%。

3.操作輕便，電流調節精度高，穩流性能好，有利於控製膜厚，保證膜厚的可重複性。

4.高頻逆變模（mó）式的電弧電源紋波較（jiào）小，響應速度遠高於舊電源。在（zài）相同的電弧源和工作條件下，使用高頻逆變電弧電源有利於（yú）提高電弧的穩定性，減少滅（miè）弧次數。

磁控濺射電源

從輸出波形來看，隨著磁控濺射技術本身的發展，經曆了直流、單極脈衝、對稱雙極脈衝（中頻磁控濺射電（diàn）源）和雙極脈衝（非對稱中（zhōng）頻磁控濺（jiàn）射功率）幾種方式。目前（qián），新型（xíng）磁控（kòng）濺射電源基本采用高頻逆變開關電源技術，中頻磁控濺射電源（yuán）已（yǐ）成（chéng）為（wéi）新型磁控濺射設備（bèi）電源。為了控製膜層的厚度，磁控濺射電源須穩（wěn）定工作並具有良好的恒定特（tè）性。目前，主要使用恒流（liú）模（mó）式，也有（yǒu）恒功率模式，很少使用恒壓模式（shì）。此外，磁控濺射鍍（dù）膜技術的一個顯著優點是膜層致密，光潔度（dù）好。為了（le）實現這一優勢，有必要在磁控濺射過（guò）程中嚴格限製靶表麵上的點火（huǒ）次數和（hé）每次（cì）點火的能量，並（bìng）盡量減少點火力矩引起的宏觀靶粒子的數量，這將降（jiàng）低膜層的密度和光潔度，嚴重導致薄膜脫落。

偏（piān）壓電源（yuán）

偏壓電（diàn）源用於（yú）多弧離子和磁控濺射塗層技術。隻是因為磁（cí）控濺射的電離率遠低於多弧離子鍍，所以所需偏壓電源的功率較小。目前，許多設備都配備（bèi）了磁（cí）控（kòng）濺射靶和多弧靶，偏壓電源的選擇應根據多單元操（cāo）作的要求來（lái）確定。早期的偏置電壓主要是采用晶閘管技術的直流（liú）偏（piān）置電（diàn）源，現在主要（yào）是采用高（gāo）頻逆變技（jì）術製造的單極、直（zhí）流疊加脈衝和（hé）雙極脈衝偏置電源。偏壓電源主要用於多弧離（lí）子和磁控濺射塗層、離子轟擊（jī）和薄膜沉（chén）積過程中的輝光（guāng）清洗，以在鍍覆工件上施加偏壓，並在輝光清洗過程中產生輝光。在離子轟擊中用於加速離子，提高離（lí）子轟擊進（jìn）入工件表麵的能量，達到濺（jiàn）射清洗效果和（hé）提高薄膜結合力的目的，在薄膜沉積中，它還用於增加離子能量，促進（jìn）和改善薄膜生長，還將提高薄膜（mó）基部結合（hé）力，以下是偏壓電源的幾種常見波形：

單極脈（mò）衝偏壓電源

主要特點

1.高頻單極脈衝偏壓作用（yòng）在工件上，與直（zhí）流偏壓相比，由於存在電壓中斷間隙，可以有效減少點火次數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，工件表麵積累的電荷可以被中和，從而減少表麵電荷積累引起的點火。

3.高頻逆變技術的快（kuài）速關斷能（néng）力能有效減少每次火花釋放的能量，即使出現火花，也（yě）能顯著降（jiàng）低對工件表麵的大損傷程度。

4.在脈衝間隙期間沉積到工（gōng）件表麵的離子能量非（fēi）常（cháng）低。

5.通過調節頻率和占空（kōng）比，可以提高和控製成膜速度和質量。

直流疊加脈（mò）衝偏壓電源

主要特點

1.具有單極脈衝偏壓電源的所（suǒ）有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式（shì）下，消除了單極脈衝間隙之（zhī）間離子能量低的問題。

雙極（jí）脈衝偏壓電源

主要特點

1.負脈衝的作用（yòng）與單極脈衝偏壓電源（yuán）相同，正脈衝的作用主要（yào）是吸引等離子體中的電子，以中和工件表（biǎo）麵積累的正電荷。因為電子的質量比離子的質量小得多，所以加速很容易，所以正脈衝的幅度比負（fù）脈衝的幅度小得多。通常為10~100V，正負脈衝的電流積分應該（gāi）相等。因此，正電源的功率遠（yuǎn）小於負電源的功率。

2.當正電源電壓為零時，雙極性脈衝偏壓變為單極性脈衝偏壓。