真空鍍膜機技術中幾種電源的介（jiè）紹

真空鍍膜機（jī）的鍍膜工藝，應適用於電源（yuán），鍍基材不同，工藝不一樣，設備配置不一樣，電源的使用也不一（yī）樣，下麵為（wéi）大家介紹（shào）幾種常見的電源：

電弧電（diàn）源

電弧離子鍍膜中靶材的蒸發和電離須依靠電弧電源提供（gòng）能量。在實際的鍍（dù）膜過程中，電源應能（néng）自（zì）動檢測（cè）到滅弧現象並自動啟動電弧，以確保鍍膜過程的連續性和均勻性。此外，電弧電源的電弧穩定性能，特別是小電弧（hú）穩定電流，對薄膜的一致性、效率和光潔度有很大影響（xiǎng）。一台多弧離子（zǐ）鍍膜機配備了幾個電弧電源，十幾個，甚至幾十套。穩定可靠的（de）運行對整個設備的性能至（zhì）關重要。電（diàn）弧電（diàn）源從傳統的電源，通過使用晶閘管技術，發展到目前的高頻逆變器。與傳統電磁晶閘管（guǎn）技術製成的電弧電源相比，高頻逆變（biàn）電弧電源具有以下特點：

1.體積減小，僅為舊電源的（de）一小部分；相應電源的重量僅為傳統電源的十分之一到（dào）十分之一。

2.電源效率明顯提高，比舊電源效率提高（gāo）約（yuē）20%-30%。

3.操作輕便，電流調節精度高，穩流性能好，有利於控（kòng）製膜厚，保證膜厚的（de）可重複性。

4.高頻逆變模式的電弧電源（yuán）紋波較小，響（xiǎng）應速度遠高於舊電源。在（zài）相同的電弧源和工作條件下，使用高頻逆變電弧電源有利於（yú）提（tí）高（gāo）電（diàn）弧的穩定性，減少滅弧次數。

磁控濺射電源

從（cóng）輸出（chū）波形來（lái）看，隨著磁控濺射技術本身的發展，經曆（lì）了直流、單極脈衝、對（duì）稱雙極脈衝（中頻磁控濺射（shè）電源（yuán））和雙極脈衝（非對稱中頻磁（cí）控濺射功率）幾種方式。目前，新型磁控濺射電源基（jī）本采用高頻逆變開關電源技術，中頻磁控（kòng）濺射電源已成為新型磁控濺（jiàn）射設備電源。為了（le）控製膜層的厚度，磁控濺射電源須穩定工作並具（jù）有良好的恒定特性。目前，主（zhǔ）要使用恒流（liú）模式，也有恒功率模式，很少使用恒壓模式。此外，磁控（kòng）濺射鍍膜技（jì）術的一個顯著優點是膜（mó）層致密，光潔度好。為了實現這一優（yōu）勢，有必要（yào）在磁控濺（jiàn）射（shè）過程中嚴格限製靶表麵上的點火次數和每次點火（huǒ）的能量，並盡量減（jiǎn）少（shǎo）點火力矩引起的宏觀靶粒子的數量，這將（jiāng）降低膜（mó）層的密度和光潔度，嚴重導致（zhì）薄膜脫落。

偏（piān）壓電源（yuán）

偏壓電（diàn）源用於多弧離子和磁控濺射塗層技術。隻是因為磁控濺射（shè）的（de）電離率遠低於多弧離子鍍（dù），所以所需偏壓電源的功率較小。目前，許多設備都配備了磁控（kòng）濺射靶和多弧靶，偏壓電（diàn）源的選擇應根據多單元操作的要求來確定。早期的（de）偏置電壓主要是采用（yòng）晶閘管（guǎn）技術的直流偏置電源，現在主要是采用高頻逆變技術製造的單極、直流疊加脈衝和（hé）雙極脈衝（chōng）偏置電源（yuán）。偏壓電源主（zhǔ）要用於（yú）多弧離子和（hé）磁（cí）控濺射塗層、離子轟擊和薄膜沉積過（guò）程中的輝光清洗，以（yǐ）在鍍（dù）覆工件上施加偏壓，並在（zài）輝光清洗過程中產生輝光。在離子轟擊中用於加速離子，提高離子轟擊進入工件表麵的能量，達到（dào）濺射清（qīng）洗效（xiào）果和提高薄膜結合力的目的（de），在薄膜沉積中，它還用於增加離子能量，促進和改（gǎi）善薄膜生（shēng）長，還將提（tí）高薄膜基部結合力，以下（xià）是（shì）偏壓電源（yuán）的（de）幾種（zhǒng）常見波形：

單極脈衝偏壓（yā）電源

主要特點

1.高頻單極脈衝偏壓作（zuò）用在工件上，與直流偏壓相比（bǐ），由於存在電壓中斷（duàn）間隙，可以有效減少點火次數，保護工件表麵（miàn）。

2.在（zài）脈衝（chōng）間隙期間，工（gōng）件表麵積累的電荷可以（yǐ）被中和（hé），從而減少表麵電荷積累引起的點火。

3.高頻逆變技術的快速（sù）關斷能（néng）力能有效減少每次火花釋（shì）放的能量，即使出現火花，也能顯（xiǎn）著降低對工（gōng）件表麵的大損傷程度。

4.在脈（mò）衝間隙期間沉（chén）積到工件表麵的離子能量非（fēi）常低（dī）。

5.通過調節頻率和占空比，可以提高和控製成膜速度和質量。

直流疊加脈衝偏壓電源

主要特點

1.具有單極脈衝偏壓電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模（mó）式下（xià），消除了單極脈衝間隙之間離子能量（liàng）低的（de）問（wèn）題。

雙極脈（mò）衝偏壓電源

主（zhǔ）要特點（diǎn）

1.負脈（mò）衝的作用與單極脈衝偏壓電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等（děng）離子體中的電子，以中和工件表（biǎo）麵積累的正電荷。因為電子的質量（liàng）比（bǐ）離子的質量小得多，所以加速很（hěn）容易，所以（yǐ）正脈衝的幅度比負脈（mò）衝的幅度小得多。通（tōng）常為10~100V，正負脈衝的電流（liú）積分應該相等。因此，正電源的功率（lǜ）遠小於負電源的功（gōng）率。

2.當正電源電壓為零（líng）時，雙極性脈衝（chōng）偏壓變為單極性脈（mò）衝（chōng）偏壓。