江蘇MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進（jìn）的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒（héng）功（gōng）率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模（mó）式（shì），
更能保證（zhèng）鍍膜工（gōng）藝的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽（wěi）打火現象，
充（chōng）分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控製（zhì）/模擬量接口控製（zhì），可選（xuǎn）配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相（xiàng）對生產型（xíng）設備的直流磁控濺射電（diàn）源，
為客戶減小電源體積（jī）和降低成本
采用先（xiān）進的PWM脈寬調製（zhì）技（jì）術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開（kāi）關器件，
體（tǐ）積小（xiǎo）、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善（shàn）。
該係列產品（pǐn）采用（yòng）先進的DSP控製係（xì）統，充分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗（kàng）短路功能，
具有極佳的負（fù）載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主（zhǔ）要參數（shù）均可大範圍連續調（diào）節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控（kòng）製。

主要用途：

直流磁控濺射用（yòng）於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源（yuán）的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中（zhōng），真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種（zhǒng）典型的故障進行分（fèn）析。

1、增加電（diàn）子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的（de）導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路（lù）上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊（jī）穿導（dǎo）通。在不正常（cháng）的情況（kuàng）下，增（zēng）加束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可（kě）能會打到坩堝（guō）的邊緣，或（huò）者束斑的位置在（zài）中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出（chū）現高壓無指示（shì）。這是由於高壓輸（shū）出被近似短路，造成電子束流大於預（yù）定的值，主開關管處於截止狀態，承（chéng）受全部（bù）的（de）高壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造（zào）成束流過大的時候，在電流檢測電路（lù）時取得的過流信（xìn）號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在（zài）正常的情況下，即使（shǐ）有束（shù）流高壓指示也應（yīng）該是穩（wěn）定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓（yā）表指針就（jiù）會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和（hé）負載有問題都會出現這種現象。為了（le）便於排查（chá），先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證（zhèng）明問題不（bú）在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電（diàn）源是由（yóu）高壓部分和（hé）自動電源的主開關管進行切斷的。當有束（shù）流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連（lián）續性的過流打火，自（zì）動複（fù）位部（bù）分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在（zài）切斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指（zhǐ）針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程中發（fā）現，有時會出現這種故障並不是由於高（gāo）壓電源內部的原因，而是真（zhēn）空室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了許（xǔ）多蒸鍍的材料。在有（yǒu）束流（liú）的情（qíng）況下，會（huì）產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導（dǎo）通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這（zhè）種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行（háng）徹底地清洗，如味故障還（hái）沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不（bú）會在頻繁的（de）擺動了。