上海MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打（dǎ）火及重啟速度，應用（yòng）在鋁靶鍍膜優勢更（gèng）為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功（gōng）率模式相（xiàng）對於傳統的恒（héng）流模式，
更能保（bǎo）證鍍膜工藝的（de）重複性。
  C 具有（yǒu）理（lǐ）想的（de）電壓陡降特性，自動識別（bié）偽（wěi）打火現象，
充分滿（mǎn）足磁控濺射工藝過（guò）程的連續性。
  D 可（kě）選擇手動（dòng）控製/模擬量接口控（kòng）製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為（wéi）客戶減小電源體積和降低成（chéng）本
采用先進的PWM脈寬調製技（jì）術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關（guān）器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定（dìng）可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用先進（jìn）的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重（chóng）複（fù）性，
並且具有抑製靶（bǎ）材（cái）弧光放電及抗短（duǎn）路功能（néng），
具有極佳的負（fù）載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了（le）靶麵清洗（xǐ）速度（dù）；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功（gōng）能，方便實（shí）現自動化控製。

主要用途：

直流（liú）磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜（mó）電源的故障現象分（fèn）析及排除，在實際使（shǐ）用的過程中，真（zhēn）空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分（fèn）析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜（mó）機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關（guān）管處（chù）於飽和的導通狀態，當（dāng）管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或（huò）10kV）。從檢測電路上得到（dào）的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正（zhèng）常的（de）情況下，增加束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的（de）位置（zhì）在（zài）中心（xīn），但蒸鍍（dù）的材料（liào）被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似短路（lù），造（zào）成電子束流大於預（yù）定的值（zhí），主開關管處於截止狀態，承受全部的高（gāo）壓（yā），讓高（gāo）壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測（cè）電路時取得的（de）過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時（shí），高壓指示不穩定

在正常的（de）情況（kuàng）下，即使有束流高壓指示也應該是穩定的（de），無束流時高壓指（zhǐ）示不穩定，高壓表（biǎo）指針就會來回的（de）擺動，這就（jiù）是不正（zhèng）常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題（tí）還在，就證明問（wèn）題不在負載那方（fāng）麵，而是在高（gāo）壓電源那方麵（miàn），高壓電源（yuán）是由高壓部分和（hé）自動電源的主開關管進行切斷的。當有（yǒu）束流時，高壓指示頻繁的擺動，就（jiù）是高壓出現連（lián）續性的（de）過流打火，自動複位（wèi）部（bù）分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處（chù）在（zài）切（qiē）斷和導通這兩種（zhǒng）狀態，反映在高壓表上的指針就金頻（pín）繁的擺動。在實際的修理過程中（zhōng）發現，有時會出（chū）現這種故障並不（bú）是（shì）由（yóu）於高壓電源內部的原因，而是（shì）真空室內有汙染，因為設備使用了（le）很多（duō）年，鍾罩內壁上聚集了（le）許多蒸鍍的（de）材料。在有束流的情況下，會產生二（èr）次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導通和截止，高壓指（zhǐ）示就不穩定了。消（xiāo）除（chú）這（zhè）種故障，可（kě）先將（jiāng）電子槍（qiāng）、坩鍋、高壓電極（jí）進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁（bì）進行徹底的清洗，故障（zhàng）就會（huì）被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。