浙江MSD係列小功率（lǜ）直流磁控濺射電源

主（zhǔ）要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小（xiǎo）輸出儲能元件，
同時提高了抑製（zhì）打（dǎ）火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模（mó）式（shì）可選。恒功率模式相對於傳統的恒（héng）流模式，
更能（néng）保證鍍膜工藝的（de）重複性。
  C 具有理（lǐ）想（xiǎng）的電（diàn）壓陡（dǒu）降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工（gōng）藝過程的連（lián）續性。
  D 可（kě）選擇手動（dòng）控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門（mén）為試驗（yàn）型（xíng）真空設備定（dìng）製，相對（duì）生（shēng）產型設（shè）備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和（hé）降低成本
采用先進的（de）PWM脈（mò）寬調製技術（shù），使用進口（kǒu）IGBT或MOSFET作為功率開關器件（jiàn），
體積（jī）小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完（wán）善。
該係列產（chǎn）品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶（bǎ）材弧光放電及抗（kàng）短路功能，
具有極佳的負載（zǎi）匹（pǐ）配能力，既保（bǎo）證了靶麵（miàn）清洗工藝的（de）穩定性，又提高了靶麵（miàn）清洗速度；
主（zhǔ）要參（cān）數均可大範圍連續調節；
方便維（wéi）護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便（biàn）實現自動化控製。

主要用途：

直（zhí）流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際（jì）使用（yòng）的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電（diàn）源（yuán）部分的故障較多，也比（bǐ）較複雜，下麵（miàn）就幾種典型的故障進行分析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示

真空鍍（dù）膜機在（zài）正（zhèng）常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於（yú）飽（bǎo）和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右（yòu）的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或（huò）10kV）。從檢測電路上（shàng）得到的電壓控製信號不足以（yǐ）使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況（kuàng）下，增加束流時，由於束斑（bān）的位置不在中心，電子束可能會打到（dào）坩堝的邊緣，或者束斑的位（wèi）置在中心，但蒸鍍的材料（liào）被打穿等原因，都會出現高壓（yā）無指示。這是（shì）由於高壓輸（shū）出被近似短（duǎn）路，造成電子束流大於預定的（de）值，主開關管處於（yú）截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由（yóu）於打火（huǒ）而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩（wěn）壓管被擊穿導通（tōng），管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定（dìng）

在正常的情（qíng）況下，即使有束流高（gāo）壓指（zhǐ）示也應該（gāi）是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就（jiù）會來回的擺動（dòng），這就（jiù）是不正常情況。從原理上分析，高壓（yā）電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源（yuán）和負載分開，如果（guǒ）問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那（nà）方麵，高壓電源是由高壓部分和自動電源（yuán）的主開關管進行（háng）切斷的。當有（yǒu）束流時，高壓（yā）指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打（dǎ）火，自動複位部分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在切斷和導通這兩種狀態，反映（yìng）在高（gāo）壓表上（shàng）的指針就金頻繁的擺動。在實際（jì）的（de）修理過（guò）程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源（yuán）內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設（shè）備使用了很多年，鍾（zhōng）罩內壁上聚集了許多蒸（zhēng）鍍的材料。在有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從（cóng）而產生較大的假束流，使得主開關管（guǎn）不停的導通和截止，高（gāo）壓指示（shì）就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消（xiāo）除，再將鍾罩內所有的器件（jiàn）和鍾罩內壁進（jìn）行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。