江蘇（sū）MSD係列小功（gōng）率直流磁控（kòng）濺射電（diàn）源（yuán）

主要型號：

主（zhǔ）要特（tè）點：
   A 采用先進的電（diàn）流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁（lǚ）靶鍍膜優勢更為（wéi）明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的（de）恒流模式（shì），
更（gèng）能保證鍍膜工藝（yì）的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁（cí）控濺射（shè）工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控製（zhì）/模擬（nǐ）量接（jiē）口控製，可選（xuǎn）配（pèi）RS485通訊接口。
  E 專門為試驗（yàn）型真空設備定製，相對生產（chǎn）型設備（bèi）的（de）直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和（hé）降低成本
采用先進的PWM脈寬調製技（jì）術，使用進（jìn）口IGBT或MOSFET作（zuò）為功率開（kāi）關器件，
體積小、重量（liàng）輕、功能全（quán）、性（xìng）能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采（cǎi）用（yòng）先進的DSP控製係統，充分保證（zhèng）鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗（kàng）短路功能，
具有極（jí）佳的負載匹（pǐ）配（pèi）能力，既保證了靶麵（miàn）清洗工藝的穩（wěn）定性，又提高（gāo）了（le）靶麵清洗速度（dù）；
主要（yào）參數均可大範圍連續調節；
方便（biàn）維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現（xiàn）象分析及排除，在實際使（shǐ）用的過程中，真空鍍膜機就出（chū）現過不少故障，其中高壓電源部分的故障（zhàng）較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的故障進行分析。

1、增加電（diàn）子束流時，高壓沒有指示（shì）

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通狀態，當（dāng）管壓下降保持（chí）在100V左右的時（shí）候，柵極得到（dào）正偏壓50V，高壓（yā）指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝（guō）的邊（biān）緣，或者束斑（bān）的位置在中心，但蒸鍍的材（cái）料被打穿等原因，都會出現高（gāo）壓無指示。這是由於高壓輸（shū）出被近似短路，造（zào）成電子束流大於預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓（ràng）高壓無法輸出。由於打火而（ér）造成束流過大（dà）的時候，在電流（liú）檢測電路時取得的過流信（xìn）號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓（yā）處於導通狀態，這時高壓就（jiù）沒有指（zhǐ）示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不（bú）穩定，高壓表（biǎo）指針就（jiù）會來回的擺（bǎi）動，這就是不正常情況。從原理上分析，高（gāo）壓電源和負載有（yǒu）問題都會出現這種現象。為了便於（yú）排查，先將高壓電（diàn）源和負載分開（kāi），如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而（ér）是在高壓電源那方麵（miàn），高壓電（diàn）源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有束流時（shí），高（gāo）壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打（dǎ）火，自動複位（wèi）部分就開始運行，使得（dé）高壓電源的（de）主開關管始終處在切斷和導通這兩（liǎng）種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動（dòng）。在實際的修（xiū）理過程中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的（de）情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導通和截止，高（gāo）壓指示就不（bú）穩定了。消除（chú）這（zhè）種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將（jiāng）鍾罩內所有的（de）器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故（gù）障就會（huì）被消除，高壓指示就不會（huì）在頻繁的擺動了。