江蘇MSD係列小功率直流磁控濺（jiàn）射電源

主要型號：

主要特（tè）點：
   A 采用先進的電流（liú）型開（kāi）關電源技術，減小輸出儲（chǔ）能元件，
同時提（tí）高了抑製打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具（jù）備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝（yì）的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續（xù）性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接口控製，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體（tǐ）積和（hé）降低成本
采用先進的PWM脈寬調製（zhì）技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重（chóng）量輕、功能全（quán）、性能穩定（dìng）可靠，生產工藝嚴格完（wán）善。
該係列產品采用（yòng）先進的（de）DSP控製係統，充分保證（zhèng）鍍膜工（gōng）藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹（pǐ）配能力，既保（bǎo）證了靶（bǎ）麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節（jiē）；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接（jiē）口擴展功能，方（fāng）便實（shí）現自動化控製。

主要用途：

直流磁（cí）控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的（de）故障（zhàng）現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典型的（de）故障進行分析。

1、增加電子束流時（shí），高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設（shè）備的主開關電路中的（de）開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下（xià）降保持在（zài）100V左右的時候，柵極得到（dào）正（zhèng）偏壓50V，高壓（yā）指示6kV（或（huò）10kV）。從檢測電路上得（dé）到的電壓控製信號不足以使穩壓（yā）管擊穿（chuān）導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑（bān）的位置不在（zài）中心，電子束可能會打到坩堝（guō）的邊緣，或者束斑（bān）的位置在中（zhōng）心（xīn），但蒸鍍的（de）材料被打穿等原因，都會出現高（gāo）壓無指示。這是由（yóu）於高（gāo）壓（yā）輸出被近似短路，造成電子束流大於（yú）預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無（wú）法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處（chù）於導通狀態，這時（shí）高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在（zài）正常的（de）情況（kuàng）下，即使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流（liú）時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常（cháng）情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會（huì）出現（xiàn）這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負（fù）載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓（yā）電源是（shì）由高壓部分和自動（dòng）電源的（de）主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連（lián）續性的過流打火，自動複位部分就（jiù）開始運（yùn）行，使得高壓電源的主開關管（guǎn）始終處在（zài）切（qiē）斷和導通這兩種狀態（tài），反映在高（gāo）壓表上的指針就金頻繁的擺動（dòng）。在實際的修理過程中發現，有時會出（chū）現這種故障（zhàng）並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室（shì）內有汙染，因為設備使用（yòng）了很（hěn）多年（nián），鍾罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會產生（shēng）二次、三（sān）次電（diàn）子，從而產生較大的假（jiǎ）束（shù）流，使得主開關管不停的導通和截（jié）止，高壓指示就（jiù）不穩定了。消除這種故障，可（kě）先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩內所（suǒ）有的器件和鍾（zhōng）罩內壁進行徹底（dǐ）的（de）清洗，故障就（jiù）會（huì）被消除，高壓指示就不（bú）會在頻繁的（de）擺動了。