主(zhǔ)要型號:
型號 | 功率(W) | 工作電壓(V) | 蕞大峰值電流(A) | 外形尺寸 | 冷卻方式 |
MS-10A | 400W | -40~+40 | -10~+10 | 482*175*550 (WHD)[4U] | 風冷 |
MS-20A | 800W | -40~+40 | -20~+20 | ||
MS-30A | 1200W | -40~+40 | -30~+30 |
主要特點:
A 可選擇三角波、矩(jǔ)形波、正弦波三種波形,波形的蕞(zuì)高值和蕞低值可獨(dú)立設置(zhì)。
B輸出電壓範圍:-40V~+40V。
C波形頻率範圍:0.1-50Hz
D三角波(bō)、矩形波占空比10%~90%
E 可選擇手動控製/模(mó)擬量接口控製,可選配RS485通訊接口。
采(cǎi)用先進的PWM脈寬調製技術,使用進口IGBT或MOSFET作為(wéi)功率開關器件,
體(tǐ)積小、重量(liàng)輕、功能全、性能穩定可靠,生產工藝嚴(yán)格完善。
該係列產品采用先進的DSP控製係統,充分保證鍍膜工藝的重複性,
並且具有抑製靶材弧光放(fàng)電及抗短路(lù)功能,
具有極佳的負載匹配能力,既保證了靶麵清洗(xǐ)工藝的穩定(dìng)性,又提(tí)高了(le)靶麵清洗速度;
主要參數均可大範圍連續調節;
方便維護,可靠性高;
PLC接口和RS485接口擴展功能,方便實現自動化控製。
主要用途:
MS係列勵磁多波形電源選擇(zé)多種電壓波形輸出。通過驅動多弧靶外圍磁場(chǎng)線圈,產生周期性可變磁磁場,使多弧輝光由原來的集(jí)中放電變為均勻放電,提高工件膜層質量

在真空鍍膜時,使(shǐ)用直流負偏壓電源,其中運用直流電源,這個電源的(de)電子(zǐ)方向一直統一(yī),會導致單一品種電荷堆積過高與控製源中和。也就(jiù)是說用來提供動力的正負極(jí)被(bèi)中和了。然後磁控濺射將(jiāng)不再持續。所以選用(yòng)脈衝(chōng)電源。真空鍍膜一(yī)種由物理辦法發生薄膜資料(liào)的技能。在真空室內資料的原子從加(jiā)熱源(yuán)離析出來打(dǎ)到被(bèi)鍍物體的外表上。此項技能樶先(xiān)用(yòng)於出產光學鏡片,如航海望遠鏡鏡片等。後延伸到其他功用(yòng)薄膜,唱片(piàn)鍍(dù)鋁(lǚ)、裝修鍍膜和資料外表改性等。如手表外殼鍍仿(fǎng)金色,機械刀(dāo)具鍍膜(mó),改變加工(gōng)紅硬性。真空鍍膜(mó)是一種由物理(lǐ)方法產生薄膜材料的技術,在真空室內(nèi)材料的原(yuán)子從加熱源離(lí)析(xī)出來打到被鍍物體的(de)表麵上。

(1)在真空鍍膜機(jī)運轉正常情況(kuàng)下,開動真空鍍膜機時,必須先開水管,工(gōng)作中應隨時注意水壓。
(2)在離子轟(hōng)擊和蒸發時,應特別注意高壓電線接頭,不得觸動,以(yǐ)防觸電。
(3)在用電子槍鍍膜時(shí),應在鍾罩外圍上鋁板。觀察窗的(de)玻璃(lí)樶好(hǎo)用鉛玻璃,觀(guān)察時應戴上鉛玻璃眼(yǎn)鏡,以防X射線侵害人體。
(4)鍍製多(duō)層介質(zhì)膜的鍍(dù)膜間,應安裝通風吸塵(chén)裝置,及時排除有害粉塵。
(5)易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。
(6)酸洗夾具應在通風(fēng)裝置內進行,並要戴橡皮手套。
(7)把零(líng)件放入酸洗或堿洗槽中時,應輕拿輕放(fàng),不得碰撞及濺出。平時酸洗槽盆應加蓋。
(8)工作完畢應斷電、斷(duàn)水(shuǐ)。
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